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上海佳武自动化科技有限公司
郭经理
女士
经营范围:
ACM RESEARCH刷洗设备、ACM RESEARCH涂胶设备、ACM RESEARCH清洗设备
主营行业:
机械及行业设备
所在地区:
上海
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产品分类
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ACM RESEARCH 槽式湿法清洗设备系列
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产 品:
浏览次数:56
ACM RESEARCH 槽式湿法清洗设备系列
品 牌:
美国ACM RESEARCH
单 价:
面议
最小起订量:
供货总量:
发货期限:
自买家付款之日起
3
天内发货
更新日期:
2023-08-07 16:54 有效期至:长期有效
详细信息
主要优势
槽式SPM清洗模块与单片清洗腔体相结合来进行去胶工艺。SPM的寿命可通过使用时间和工艺片数来控制。现阶段,SPM的使用量跟单片高温清洗设备相比能减少80%以上。
单片晶圆腔体内可配置通用药液比如DHF,SC1,SC2和O3。可按要求配置喷嘴和/或者兆声波清洗来提高去除颗粒污染物的效率。
工艺的顺序可灵活设置,该设备可按照不同的产品需求进行槽式清洗工艺或者只进行单片清洗工艺。
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